ਆਪਟੀਕਲ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਦੀ ਇੱਕ ਵਿਸ਼ਾਲ ਸ਼੍ਰੇਣੀ ਹੈ। ਇੱਕ ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫ਼ੀ ਮਸ਼ੀਨ ਵਿੱਚ, ਆਪਟੀਕਲ ਸਿਸਟਮ ਰੋਸ਼ਨੀ ਸਰੋਤ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ਤ ਲਾਈਟ ਬੀਮ ਨੂੰ ਫੋਕਸ ਕਰਨ ਅਤੇ ਸਰਕਟ ਪੈਟਰਨ ਨੂੰ ਬੇਨਕਾਬ ਕਰਨ ਲਈ ਇਸਨੂੰ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਉੱਤੇ ਪ੍ਰਜੈਕਟ ਕਰਨ ਲਈ ਜ਼ਿੰਮੇਵਾਰ ਹੈ। ਇਸ ਲਈ, ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਪ੍ਰਣਾਲੀ ਵਿੱਚ ਆਪਟੀਕਲ ਭਾਗਾਂ ਦਾ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਅਤੇ ਅਨੁਕੂਲਤਾ ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਨ ਦਾ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਤਰੀਕਾ ਹੈ। ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਵਿੱਚ ਵਰਤੇ ਜਾਣ ਵਾਲੇ ਕੁਝ ਆਪਟੀਕਲ ਹਿੱਸੇ ਹੇਠਾਂ ਦਿੱਤੇ ਗਏ ਹਨ:
ਪ੍ਰੋਜੈਕਸ਼ਨ ਉਦੇਸ਼
01 ਪ੍ਰੋਜੇਕਸ਼ਨ ਉਦੇਸ਼ ਇੱਕ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫ਼ੀ ਮਸ਼ੀਨ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮੁੱਖ ਆਪਟੀਕਲ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਲੈਂਸਾਂ ਦੀ ਇੱਕ ਲੜੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਕਨਵੈਕਸ ਲੈਂਸ, ਅਵਤਲ ਲੈਂਸ, ਅਤੇ ਪ੍ਰਿਜ਼ਮ ਸ਼ਾਮਲ ਹੁੰਦੇ ਹਨ।
02 ਇਸਦਾ ਕੰਮ ਮਾਸਕ 'ਤੇ ਸਰਕਟ ਪੈਟਰਨ ਨੂੰ ਸੁੰਗੜਾਉਣਾ ਹੈ ਅਤੇ ਇਸਨੂੰ ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਨਾਲ ਕੋਟੇਡ ਵੇਫਰ 'ਤੇ ਫੋਕਸ ਕਰਨਾ ਹੈ।
03 ਪ੍ਰੋਜੇਕਸ਼ਨ ਉਦੇਸ਼ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਦਾ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਦੇ ਰੈਜ਼ੋਲੂਸ਼ਨ ਅਤੇ ਇਮੇਜਿੰਗ ਗੁਣਵੱਤਾ 'ਤੇ ਨਿਰਣਾਇਕ ਪ੍ਰਭਾਵ ਹੈ
ਮਿਰਰ
01 ਸ਼ੀਸ਼ੇਰੋਸ਼ਨੀ ਦੀ ਦਿਸ਼ਾ ਨੂੰ ਬਦਲਣ ਅਤੇ ਇਸਨੂੰ ਸਹੀ ਸਥਾਨ 'ਤੇ ਭੇਜਣ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
02 EUV ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਵਿੱਚ, ਸ਼ੀਸ਼ੇ ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਕਿਉਂਕਿ EUV ਰੋਸ਼ਨੀ ਸਮੱਗਰੀ ਦੁਆਰਾ ਆਸਾਨੀ ਨਾਲ ਲੀਨ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਇਸ ਲਈ ਉੱਚ ਪ੍ਰਤੀਬਿੰਬ ਵਾਲੇ ਸ਼ੀਸ਼ੇ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਨੀ ਚਾਹੀਦੀ ਹੈ।
03 ਰਿਫਲੈਕਟਰ ਦੀ ਸਤਹ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਸਥਿਰਤਾ ਵੀ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ 'ਤੇ ਬਹੁਤ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪਾਉਂਦੀ ਹੈ।
ਫਿਲਟਰ
01 ਫਿਲਟਰਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ ਦੀ ਅਣਚਾਹੇ ਤਰੰਗ-ਲੰਬਾਈ ਨੂੰ ਹਟਾਉਣ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।
02 ਢੁਕਵੇਂ ਫਿਲਟਰ ਦੀ ਚੋਣ ਕਰਕੇ, ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਇਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ ਕਿ ਸਿਰਫ਼ ਇੱਕ ਖਾਸ ਤਰੰਗ-ਲੰਬਾਈ ਦੀ ਰੌਸ਼ਨੀ ਹੀ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫ਼ੀ ਮਸ਼ੀਨ ਵਿੱਚ ਦਾਖਲ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਸਥਿਰਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।
ਪ੍ਰਿਜ਼ਮ ਅਤੇ ਹੋਰ ਭਾਗ
ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਖਾਸ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਲੋੜਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨ ਲਈ ਹੋਰ ਸਹਾਇਕ ਆਪਟੀਕਲ ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਪ੍ਰਿਜ਼ਮ, ਪੋਲਰਾਈਜ਼ਰ, ਆਦਿ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਵੀ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਦੀ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਇਹਨਾਂ ਆਪਟੀਕਲ ਭਾਗਾਂ ਦੀ ਚੋਣ, ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਅਤੇ ਨਿਰਮਾਣ ਨੂੰ ਸੰਬੰਧਿਤ ਤਕਨੀਕੀ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਅਤੇ ਲੋੜਾਂ ਦੀ ਸਖਤੀ ਨਾਲ ਪਾਲਣਾ ਕਰਨੀ ਚਾਹੀਦੀ ਹੈ।
ਸੰਖੇਪ ਵਿੱਚ, ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫ਼ੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਦੇ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ ਆਪਟੀਕਲ ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਦਾ ਉਦੇਸ਼ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫ਼ੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦਨ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਨਾ ਹੈ, ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ ਮਾਈਕ੍ਰੋਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨਿਕ ਨਿਰਮਾਣ ਉਦਯੋਗ ਦੇ ਵਿਕਾਸ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਨਾ ਹੈ। ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੇ ਨਿਰੰਤਰ ਵਿਕਾਸ ਦੇ ਨਾਲ, ਆਪਟੀਕਲ ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ ਦੀ ਅਨੁਕੂਲਤਾ ਅਤੇ ਨਵੀਨਤਾ ਵੀ ਅਗਲੀ ਪੀੜ੍ਹੀ ਦੇ ਚਿਪਸ ਦੇ ਨਿਰਮਾਣ ਲਈ ਵਧੇਰੇ ਸੰਭਾਵਨਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰੇਗੀ।
ਵਧੇਰੇ ਸੂਝ ਅਤੇ ਮਾਹਰ ਸਲਾਹ ਲਈ, ਸਾਡੀ ਵੈਬਸਾਈਟ 'ਤੇ ਜਾਓhttps://www.jiujonoptics.com/ਸਾਡੇ ਉਤਪਾਦਾਂ ਅਤੇ ਹੱਲਾਂ ਬਾਰੇ ਹੋਰ ਜਾਣਨ ਲਈ।
ਪੋਸਟ ਟਾਈਮ: ਜਨਵਰੀ-02-2025
