ਆਪਟੀਕਲ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਵਿੱਚ ਸੈਮਿਕਨਡੂਟਰ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ ਕਈ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਹਨ. ਫੋਟੋਫੀਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਵਿਚ, ਆਪਟੀਕਲ ਸਿਸਟਮ ਲਾਈਟ ਸ੍ਰੋਮ ਦੁਆਰਾ ਦਰਸਾਏ ਗਏ ਲਾਈਟ ਬੀਮ ਨੂੰ ਕੇਂਦ੍ਰਿਤ ਕਰਨ ਅਤੇ ਸਰਕਟ ਨਮੂਨੇ ਦਾ ਪਰਦਾਫਾਸ਼ ਕਰਨ ਲਈ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ 'ਤੇ ਉਤਾਰਨਾ. ਇਸ ਲਈ, ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਪ੍ਰਣਾਲੀ ਵਿਚ ਆਪਟਿਕਾਰਤ ਭਾਗਾਂ ਦਾ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਅਤੇ ਅਨੁਕੂਲਤਾ ਫੋਟੋਫੀਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਨੂੰ ਸੁਧਾਰਨ ਦਾ ਇਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਣ ਤਰੀਕਾ ਹੈ. ਫੋਟੌਥੀਓਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਵਿੱਚ ਵਰਤੇ ਗਏ ਆਪਟੀਕਲ ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ ਵਿੱਚੋਂ ਕੁਝ ਹਨ:
ਪ੍ਰੋਜੈਕਸ਼ਨ ਉਦੇਸ਼
01 ਪ੍ਰੋਜੈਕਸ਼ਨ ਉਦੇਸ਼ ਇਕ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਵਿਚ ਇਕ ਪ੍ਰਮੁੱਖ ਆਪਟੀਕਲ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਹੈ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਦਾਅਵੰਸ਼ ਦੇ ਲੈਂਸਾਂ, ਕਾਤਲ ਲੈਂਸਾਂ ਅਤੇ ਪ੍ਰਿਸਲਸ ਸਮੇਤ ਲੈਂਸਾਂ ਦੀ ਇਕ ਲੜੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ.
02 ਇਸ ਦਾ ਕਾਰਜ ਮਾਸਕ 'ਤੇ ਸਰਕਟ ਨਮੂਨੇ ਨੂੰ ਛੋਟਾ ਕਰਨਾ ਹੈ ਅਤੇ ਇਸਨੂੰ ਫੋਟੋਸ਼ੋਰਸਿਸਟ ਨਾਲ ਲਹਿਰੀਓ ਦੇ ਨਾਲ ਲੇਪ' ਤੇ ਕੇਂਦ੍ਰਤ ਕਰਨਾ.
03 ਪ੍ਰੋਜੈਕਸ਼ਨ ਦੇ ਉਦੇਸ਼ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਦਾ ਰੈਜ਼ੋਲਿ stray ਸ਼ਨ ਅਤੇ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਦੀ ਪ੍ਰਤੀਬਿੰਬ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ 'ਤੇ ਫੈਸਲਾਕੁੰਨ ਪ੍ਰਭਾਵ ਹੈ
ਸ਼ੀਸ਼ਾ
01 ਸ਼ੀਸ਼ੇਰੋਸ਼ਨੀ ਦੀ ਦਿਸ਼ਾ ਬਦਲਣ ਲਈ ਵਰਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਇਸ ਨੂੰ ਸਹੀ ਜਗ੍ਹਾ ਤੇ ਭੇਜਦੇ ਸਨ.
EUV ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਵਿੱਚ 02 ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਮਹੱਤਵਪੂਰਣ ਹਨ ਕਿਉਂਕਿ ਈਯੂਵੀ ਰੋਸ਼ਨੀ ਨੂੰ ਸਮੱਗਰੀ ਦੁਆਰਾ ਅਸਾਨੀ ਨਾਲ ਲੀਨ ਕਰ ਦਿੱਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ.
03 ਰਿਫਲੈਕਟਰ ਦੀ ਸਤਹ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਸਥਿਰਤਾ ਦਾ ਵੀ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ 'ਤੇ ਬਹੁਤ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪੈਂਦਾ ਹੈ.
ਫਿਲਟਰ
01 ਫਿਲਟਰ ਰੋਸ਼ਨੀ ਦੀਆਂ ਅਣਚਾਹੇ ਵੇਵ-ਵੇਂ ਸਥਾਨ ਨੂੰ ਹਟਾਉਣ ਲਈ, ਫੋਟੋਫੀਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨੂੰ ਸੁਧਾਰਨ ਲਈ.
02 Phaterient ੁਕਵਾਂ ਫਿਲਟਰ ਦੀ ਚੋਣ ਕਰਕੇ, ਇਸ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਇਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ ਕਿ ਇਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਣ ਵੇਲਈਂ ਦੀ ਰੌਸ਼ਨੀ ਨੂੰ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਵਿਚ ਦਾਖਲ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਸਥਿਰਤਾ ਵਿਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ.
ਪ੍ਰੈਸਮ ਅਤੇ ਹੋਰ ਭਾਗ
ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਹੋਰ ਸਹਾਇਕ ਆਪਟੀਕਲ ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਪ੍ਰੈਸ, ਪੋਲਲਾਈਜ਼ਰਜ਼, ਆਦਿ, ਖਾਸ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨ ਲਈ ਵੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ. ਇਹਨਾਂ ਆਪਟੀਕਲ ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ ਦੀ ਚੋਣ, ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਅਤੇ ਨਿਰਮਾਣ ਕਰਨਾ ਲਾਜ਼ਮੀ ਤੌਰ 'ਤੇ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਦੀ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਜ਼ਰੂਰਤ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਸਖਤ ਤਕਨੀਕੀ ਮਿਆਰਾਂ ਅਤੇ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਦੀ ਸਖਤੀ ਨਾਲ ਪਾਲਣਾ ਕਰਨੀ ਚਾਹੀਦੀ ਹੈ.
ਸੰਖੇਪ ਵਿੱਚ, ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਦੇ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ ਆਪਟੀਕਲ ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਦਾ ਉਦੇਸ਼ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦਨ ਦੀ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਨਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦਨ ਦੀ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਲਿਆਉਣਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਮਾਈਕਰੋਲੇਕਟ੍ਰਿਕ ਨਿਰਮਾਣ ਉਦਯੋਗ ਦੇ ਵਿਕਾਸ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਨਾ ਹੈ. ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੇ ਨਿਰੰਤਰ ਵਿਕਾਸ ਦੇ ਨਾਲ, ਆਪਟੀਕਲ ਕੰਪੋਨੈਂਟਾਂ ਦੀ ਅਨੁਕੂਲਤਾ ਅਤੇ ਨਵੀਨਤਾ ਨਵੀਨੀਕਰਨ ਚਿਪਸ ਦੇ ਨਿਰਮਾਣ ਲਈ ਵਧੇਰੇ ਸੰਭਾਵਨਾ ਵੀ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰੇਗੀ.
ਵਧੇਰੇ ਸਮਝ ਅਤੇ ਮਾਹਰ ਦੀ ਸਲਾਹ ਲਈ, ਸਾਡੀ ਵੈਬਸਾਈਟ ਤੇ ਜਾਓhttps://www.jiujonoptics.com/ਸਾਡੇ ਉਤਪਾਦਾਂ ਅਤੇ ਹੱਲਾਂ ਬਾਰੇ ਵਧੇਰੇ ਜਾਣਨ ਲਈ.
ਪੋਸਟ ਸਮੇਂ: ਜਨ -02-2025