ਆਪਟੀਕਲ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਦੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ ਬਹੁਤ ਸਾਰੇ ਉਪਯੋਗ ਹਨ। ਇੱਕ ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਵਿੱਚ, ਆਪਟੀਕਲ ਸਿਸਟਮ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ ਸਰੋਤ ਦੁਆਰਾ ਨਿਕਲਣ ਵਾਲੇ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ ਬੀਮ ਨੂੰ ਫੋਕਸ ਕਰਨ ਅਤੇ ਸਰਕਟ ਪੈਟਰਨ ਨੂੰ ਉਜਾਗਰ ਕਰਨ ਲਈ ਇਸਨੂੰ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਉੱਤੇ ਪ੍ਰੋਜੈਕਟ ਕਰਨ ਲਈ ਜ਼ਿੰਮੇਵਾਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਲਈ, ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਸਿਸਟਮ ਵਿੱਚ ਆਪਟੀਕਲ ਹਿੱਸਿਆਂ ਦਾ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਅਤੇ ਅਨੁਕੂਲਤਾ ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਣ ਦਾ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਤਰੀਕਾ ਹੈ। ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਵਿੱਚ ਵਰਤੇ ਜਾਣ ਵਾਲੇ ਕੁਝ ਆਪਟੀਕਲ ਹਿੱਸੇ ਹੇਠਾਂ ਦਿੱਤੇ ਗਏ ਹਨ:
ਪ੍ਰੋਜੈਕਸ਼ਨ ਉਦੇਸ਼
01 ਪ੍ਰੋਜੈਕਸ਼ਨ ਉਦੇਸ਼ ਇੱਕ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮੁੱਖ ਆਪਟੀਕਲ ਹਿੱਸਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਲੈਂਸਾਂ ਦੀ ਇੱਕ ਲੜੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਕਨਵੈਕਸ ਲੈਂਸ, ਕੰਕੇਵ ਲੈਂਸ ਅਤੇ ਪ੍ਰਿਜ਼ਮ ਸ਼ਾਮਲ ਹੁੰਦੇ ਹਨ।
02 ਇਸਦਾ ਕੰਮ ਮਾਸਕ 'ਤੇ ਸਰਕਟ ਪੈਟਰਨ ਨੂੰ ਸੁੰਗੜਨਾ ਅਤੇ ਇਸਨੂੰ ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਨਾਲ ਲੇਪ ਕੀਤੇ ਵੇਫਰ 'ਤੇ ਫੋਕਸ ਕਰਨਾ ਹੈ।
03 ਪ੍ਰੋਜੈਕਸ਼ਨ ਉਦੇਸ਼ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਦਾ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਦੇ ਰੈਜ਼ੋਲਿਊਸ਼ਨ ਅਤੇ ਇਮੇਜਿੰਗ ਗੁਣਵੱਤਾ 'ਤੇ ਨਿਰਣਾਇਕ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪੈਂਦਾ ਹੈ।
ਮਿਰਰ
01 ਸ਼ੀਸ਼ੇਇਹਨਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਰੌਸ਼ਨੀ ਦੀ ਦਿਸ਼ਾ ਬਦਲਣ ਅਤੇ ਇਸਨੂੰ ਸਹੀ ਸਥਾਨ 'ਤੇ ਭੇਜਣ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
02 EUV ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਵਿੱਚ, ਸ਼ੀਸ਼ੇ ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਕਿਉਂਕਿ EUV ਰੋਸ਼ਨੀ ਸਮੱਗਰੀ ਦੁਆਰਾ ਆਸਾਨੀ ਨਾਲ ਸੋਖ ਲਈ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਇਸ ਲਈ ਉੱਚ ਪ੍ਰਤੀਬਿੰਬਤਾ ਵਾਲੇ ਸ਼ੀਸ਼ੇ ਵਰਤੇ ਜਾਣੇ ਚਾਹੀਦੇ ਹਨ।
03 ਰਿਫਲੈਕਟਰ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਸਥਿਰਤਾ ਦਾ ਵੀ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਦੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ 'ਤੇ ਬਹੁਤ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪੈਂਦਾ ਹੈ।
ਫਿਲਟਰ
01 ਫਿਲਟਰਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਰੌਸ਼ਨੀ ਦੀਆਂ ਅਣਚਾਹੇ ਤਰੰਗ-ਲੰਬਾਈ ਨੂੰ ਹਟਾਉਣ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਫੋਟੋਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।
02 ਢੁਕਵੇਂ ਫਿਲਟਰ ਦੀ ਚੋਣ ਕਰਕੇ, ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਇਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ ਕਿ ਸਿਰਫ਼ ਇੱਕ ਖਾਸ ਤਰੰਗ-ਲੰਬਾਈ ਦਾ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ ਹੀ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਵਿੱਚ ਦਾਖਲ ਹੋਵੇ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਸਥਿਰਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।
ਪ੍ਰਿਜ਼ਮ ਅਤੇ ਹੋਰ ਹਿੱਸੇ
ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਖਾਸ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨ ਲਈ ਹੋਰ ਸਹਾਇਕ ਆਪਟੀਕਲ ਹਿੱਸਿਆਂ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਪ੍ਰਿਜ਼ਮ, ਪੋਲਰਾਈਜ਼ਰ, ਆਦਿ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਵੀ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ। ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨ ਦੀ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਇਹਨਾਂ ਆਪਟੀਕਲ ਹਿੱਸਿਆਂ ਦੀ ਚੋਣ, ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਅਤੇ ਨਿਰਮਾਣ ਨੂੰ ਸੰਬੰਧਿਤ ਤਕਨੀਕੀ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਅਤੇ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਦੀ ਸਖਤੀ ਨਾਲ ਪਾਲਣਾ ਕਰਨੀ ਚਾਹੀਦੀ ਹੈ।
ਸੰਖੇਪ ਵਿੱਚ, ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਦੇ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ ਆਪਟੀਕਲ ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਦਾ ਉਦੇਸ਼ ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਦੀ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਅਤੇ ਉਤਪਾਦਨ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਣਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਮਾਈਕ੍ਰੋਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨਿਕਸ ਨਿਰਮਾਣ ਉਦਯੋਗ ਦੇ ਵਿਕਾਸ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਲਿਥੋਗ੍ਰਾਫੀ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਦੇ ਨਿਰੰਤਰ ਵਿਕਾਸ ਦੇ ਨਾਲ, ਆਪਟੀਕਲ ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ ਦਾ ਅਨੁਕੂਲਨ ਅਤੇ ਨਵੀਨਤਾ ਅਗਲੀ ਪੀੜ੍ਹੀ ਦੇ ਚਿਪਸ ਦੇ ਨਿਰਮਾਣ ਲਈ ਵਧੇਰੇ ਸੰਭਾਵਨਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰੇਗੀ।
ਵਧੇਰੇ ਜਾਣਕਾਰੀ ਅਤੇ ਮਾਹਰ ਸਲਾਹ ਲਈ, ਸਾਡੀ ਵੈੱਬਸਾਈਟ 'ਤੇ ਜਾਓhttps://www.jiujonoptics.com/ਸਾਡੇ ਉਤਪਾਦਾਂ ਅਤੇ ਹੱਲਾਂ ਬਾਰੇ ਹੋਰ ਜਾਣਨ ਲਈ।
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਜਨਵਰੀ-02-2025
